Инжиниринговый химико-технологический центр (ИХТЦ) совместно с Национальным исследовательским Томским государственным университетом завершил разработку и создание первой в России установки для производства высокочистого бромида водорода (HBr) чистотой 5N. Проект выполнен по заказу Министерства промышленности и торговли Российской Федерации с общим объемом финансирования 260,5 млн рублей.
Технологическая линия для производства высокочистого бромида водорода. Фото: ИХТЦ
Первые 100 кг российского бромида водорода высокой чистоты для микроэлектроники будут поставлены на отечественные предприятия в первом полугодии 2026 года. Установка с годовой производительностью до 650 кг конечного продукта размещена в Томске на опытно-промышленной площадке ИХТЦ при ТГУ и готова к запуску.
В микроэлектронике сверхчистый бромистый водород применяется как технологический газ для плазмохимического травления кремния, поликремния и родственных материалов, обеспечивая высокую анизотропию и точное формирование субмикронных структур. Высокая чистота HBr критична для снижения дефектности и предотвращения паразитного загрязнения при производстве современных интегральных схем, включая микросхемы для банковских и транспортных карт.
Технологическая линия для производства высокочистого бромида водорода. Фото: ИХТЦ
Ключевые предприятия-потребители подтвердили планы по переходу с импортного HBr, в первую очередь китайского производства, на российское сырье с 2026 года. Ведутся переговоры по заключению рамочных договоров, а заказ на первые 100 кг продукции уже подтвержден.
ИХТЦ становится единственным в России производителем этого стратегически важного вещества. Центр является одним из разработчиков Стратегии развития химической промышленности в России до 2042 года, а Томский государственный университет выступает оператором Центра подготовки кадров для химической отрасли РФ.
Источник: ТГУ
Оцените новость
0
0
0
0
0
0
0
- Hbr
- Микроэлектроника
- Томск
- Ихтц
- Химическаяпромышленность
- Импортозамещение